Il FEI Quanta 200 3D abbina una colonna elettronica SEM con una colonna ionica FIB (Focused Ion Beam).

Il FIB utilizza una sorgente di Gallio ed è impiegato per il taglio dei campioni e per le applicazioni di nano-litografia.

Il SEM/FIB è inoltre dotato di un sistema di iniezione di gas attraverso il quale si può depositare uno strato di Platino di spessore e forma desiderata sulle parti del campione che si vogliono preservare dall’erosione durante le osservazioni e le lavorazioni con il fascio ionico.