Il Microscopio a Scansione Elettronica (SEM) Tescan VEGA TS 5136XM ha una sorgente convenzionale in W e può lavorare ad una tensione di accelerazione di 0,3-30 kV e con una corrente del fascio di 1 pA-2 uA. La risoluzione nominale dello strumento è di 3,5 nm a 15 kV.

Lo strumento è dotato di detector “in-camera” di elettroni secondari (SE) e retrodiffusi (BSE) e di uno speciale detector LVSTD per lavorare in condizioni di basso vuoto (Low Vacuum Secondary Tescan Detector). Quest’ultima caratteristica unitamente a quella di una camera per l’alloggiamento dei campioni molto grande, rendono il Tescan uno strumento molto adatto allo studio di campioni di grandi dimensioni e poco conduttivi.

Lo strumento è anche dotato di una microanalisi a dispersione di energia (EDX) EDAX Genesis 4000 per l’analisi chimica e di uno speciale detector EBIC (Electron Beam Induced Current) per lo studio delle proprietà elettriche dei materiali.

Oltre alle applicazioni di cui sopra, lo strumento è usato per osservazioni SEM di routine e per la formazione dei giovani ricercatori.